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日本理研多點紙帶式有毒氣體在線監(jiān)測系統(tǒng)

簡要描述：日本理研多點紙帶式有毒氣體在線監(jiān)測系統(tǒng)
化學紙帶法（紙帶比色）：特制化學紙帶與目標有毒氣體發(fā)生顯色反應，光學讀取色斑深淺換算濃度；紙帶可留存，泄漏時保留物理證據(jù)，ppb 級超低濃度檢測，抗干擾強、誤報低。

產(chǎn)品型號：FPM-80A
廠商性質(zhì)：其他
更新時間：2026-09-09
訪問量：1417

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Product Category

品牌	RIKEN/日本理研	產(chǎn)地類別	進口
應用領域	綜合

日本理研多點紙帶式有毒氣體在線監(jiān)測系統(tǒng)

Riken Keiki FPM-80A

FPM-80A 多點紙帶式有毒氣體在線監(jiān)測系統(tǒng)（半導體晶圓廠旗艦機型）**

化學紙帶法（紙帶比色）**：特制化學紙帶與目標有毒氣體發(fā)生顯色反應，光學讀取色斑深淺換算濃度；紙帶可留存，泄漏時保留物理證據(jù)，ppb 級超低濃度檢測，抗干擾強、誤報低。

關鍵規(guī)格

- 最大監(jiān)測點數(shù)：80 點 / 臺

- 采樣方式：內(nèi)置泵吸式，每機架最多 8 個采樣點

- 單路采樣流量：2.5 L/min

- 最遠采樣距離：120 米**，響應＜1 分鐘

- 紙帶壽命：常規(guī)氣體最長**180 天**；NO?最長 60 天；帶 RFID 識別紙帶剩余壽命，更換僅需 1 分鐘，熱插拔式盒帶，不易卡帶RKI Instru...

- 人機界面：19 英寸觸控屏，顯示濃度、氣體名稱、紙帶余量、流量

- 通信：支持多種工業(yè)協(xié)議，可接入工廠上位系統(tǒng)

- 電源：AC100–240V，功耗 2.3kW

- 重量：約 400kg

- 環(huán)境條件：工作溫度 5～35℃，濕度 30～60% RH

- 管路：推薦 PTFE 管 φ6.35mm (1/4") 外徑

可檢測氣體

配套超過 300 種化學紙帶，半導體常用：**HCl、HF、Cl?、NH?、NO?、H?S、光氣、磷化氫、砷化氫**等各類劇毒 / 腐蝕性工藝氣體

日本理研多點紙帶式有毒氣體在線監(jiān)測系統(tǒng)

1. ppb 級靈敏度，專門針對半導體 fab 劇毒工藝氣體泄漏預警

2. 泵、電源、工控機支持**熱插拔維護**，停機時間短，適合連續(xù)生產(chǎn)工廠

3. 紙帶顯色可作為泄漏物證，區(qū)別于普通電化學傳感器

4. 支持氣體追蹤定位功能，遠程查看各測點狀態(tài)RKI Instru...

典型應用場景

半導體晶圓制造、面板廠，VMB 柜、機臺、排風管道有毒氣體多點泄漏在線監(jiān)測，是國內(nèi)晶圓廠常用的理研旗艦多點有毒氣體監(jiān)測系統(tǒng)

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